链条隧道式传递机构的缺陷是,1、真空室之间的连接阀门需要较大尺寸,这样,不同真空室之间的气氛容易互串,进而降低镀膜质量、成品率等;2、需要较高的设计精度、加工水平,头盔光学镀膜,由于是柔性结构,容易出现匹配不准确,导致传送出现故障。真空镀膜机往复步进齿条推杆式传送机其传递过程为,固定在镀膜室顶上或底盘上(与公转盘同一侧)、并可以往复运动的齿轮G、齿条H-推杆机构,顺序实现自转工件杆Am从真空室M的公转盘Jm向真空室N的公转盘Jn的传递。齿轮、齿条所用的动力是通过轴密封在真空室外的电机来实现。为使自转工件杆脱离公转盘进入下一个公转盘,在公转盘与自转轴之间采用开放式连接,同时在固定于镀膜室内并维持自转的内齿轮盘相应位置开口,实现自转工件杆从镀膜室M传送到下一个镀膜室N。
又称增透膜,它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光,从而增加这些元件的透光量,减少或消除系统的杂散光。
简单的增透膜是单层膜,它是镀在光学零件光学表面上的一层折射率较低的镀膜。当镀膜的折射率低于基体材料的折射率时,两个界面的反射系数r1和r2具有相同的。
位相变化。如果膜层的光学厚度是某一波长的四分之一,相邻两束光的光程差恰好为π,即振动方向相反,叠加的结果使光学表面对该波长的反射光减少。适当选择膜层的折射率,使得r1和r2相等,这时光学表面的反射光可以完全消除。